苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

吴中区管道工程-珂锐弘扬(推荐商家)-管道工程性能

气体管道设计规范

（1）氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。

（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。

（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。

（4）氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

（5）氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。

（6）管道敷设要求

① 输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。

② 氧气管道与其他气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。

③ 氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。

④ 气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。

⑤ 气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

⑥ 管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳胶管。

⑦ 阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。

气体管道工程施工有什么标准？

1.所有的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成，并且都是标准配件。所有气体出口为不锈钢阀门。工作台上气体出口由单独的阀门来控制。引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。

2.所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成，铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)

3.根据实验室的用气量，计算供气压力、流量和管道的内径，所有气体主管道原则上不低于9.52mm(3/8in,仪器空气主管道直径为12.7mm).管路末端，原则上不低于6.35mm(1/4in,也可根据实际使用量而定)。

4.每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外，对于供应多台分析仪器的气体管路，另外还需要气体压力控制指示装置。所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时，才可以使用压力配件。

5.气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。每隔1.5m左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。

6.所有弯曲处都要有支撑。所有“U”性弯曲处根据安装情况，需要有支撑。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。